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      3D打印陶瓷基板表面激光輔助選擇性金屬化

       時(shí)間:2022-10-19     瀏覽:1754     分享

      隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展,電子器件中元器件的復(fù)雜性和密度不斷增加。因此,對(duì)電路基板的散熱和絕緣的要求越來(lái)越高,尤其是大電流或高電壓供電的功率集成電路元件。

       

      此外,隨著5G時(shí)代的到來(lái),對(duì)設(shè)備的小型化提出了新的要求,尤其是毫米波天線和濾波器,與傳統(tǒng)樹(shù)脂基印刷電路板相比,表面金屬化氧化鋁陶瓷基板具有良好的導(dǎo)熱性、高電阻、更好的機(jī)械強(qiáng)度,在大功率電器中的熱應(yīng)力和應(yīng)變較小。同時(shí),可以通過(guò)調(diào)整陶瓷粉的比例來(lái)改變介電常數(shù)。因此,它們廣泛用于電子和射頻電路行業(yè),例如大功率LED、集成電路和濾波器。

       

      器件的小型化可能需要將原來(lái)的平面布局改變?yōu)樾枰獜澢宓目臻g布局。傳統(tǒng)的陶瓷成型工藝,例如薄膜滾壓和流延成型,在生產(chǎn)規(guī)則形狀的陶瓷方面具有優(yōu)勢(shì),但生產(chǎn)具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的陶瓷基板更加困難。如今,通過(guò)增材制造(AM)實(shí)現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)的陶瓷器件已成為研究熱點(diǎn)。這包括廣泛用于無(wú)線移動(dòng)通信、衛(wèi)星通信和雷達(dá)系統(tǒng)的陶瓷濾波器和陶瓷天線等設(shè)備。

       

      可以使用各種方法在陶瓷上實(shí)現(xiàn)金屬化圖案,包括磁控濺射、絲網(wǎng)印刷、噴墨印刷和直接鍵合銅涂層。磁控濺射采用磁控技術(shù)在陶瓷基板上沉積多層薄膜,具有良好的再現(xiàn)性和基板附著力。但磁控濺射技術(shù)設(shè)備昂貴,內(nèi)應(yīng)力大,難以沉積厚膜,形狀無(wú)法精確控制,阻礙了其大規(guī)模應(yīng)用。絲網(wǎng)印刷技術(shù)可以通過(guò)在表面印刷導(dǎo)電漿產(chǎn)生較厚的導(dǎo)電層,但對(duì)導(dǎo)電漿的要求較高,存在應(yīng)力不均、表面燒傷、燒結(jié)時(shí)產(chǎn)生裂紋等問(wèn)題。由于噴墨打印技術(shù)是無(wú)掩膜的,因此非常適合在各種基材上進(jìn)行表面圖案化。

       

      化學(xué)鍍銅由于其成本低、生成能力強(qiáng)、加工溫度低等優(yōu)點(diǎn),被廣泛用于集成電路和車(chē)載天線的制造。但是氧化鋁陶瓷基板不具備催化活性,因此必須進(jìn)行預(yù)活化。傳統(tǒng)的Pd活化廢液處理方法難度大、污染大、成本高。因此,使用鎳和銅作為活性催化劑的方法得到了極大的發(fā)展。然而,活化催化劑技術(shù)的使用很大程度上依賴(lài)于活化劑的配方,不適合大規(guī)模應(yīng)用。激光預(yù)活化(LPA)和ECP相結(jié)合是一種在氧化鋁上制備金屬線的有效方法陶瓷表面。

       

      上述說(shuō)明,LPA和ECP成功地在復(fù)雜的氧化鋁陶瓷基板表面獲得了選擇性金屬化圖案。而這種方法簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)、有效、可輕松控制銅層厚度,所得涂層具有滿(mǎn)意的粗糙度、結(jié)合力、穩(wěn)定性和良好的可焊性。

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