什么是微機電系統？

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的縮寫。它是一種與制造微型設備相關的技術，如傳感器、換能器、執行器、齒輪、泵、開關等。

換句話說，MEMS是微觀集成器件，是電子，電氣和機械元件的組合，所有這些都使用稱為微系統技術（MST）的技術協同工作以實現單個功能要求。

MEMS技術被認為是傳統集成電路（IC）制造的擴展形式。傳統IC制造技術（VLSI）和MEMS之間的主要區別在于，使用MEMS，您不僅可以制造電容器和電感器等電氣元件，還可以制造齒輪，彈簧，橫梁等機械元件。使用傳統的IC技術，您只能制造導體，絕緣體，二極管和晶體管。

什么是MEMS傳感器？

傳感器是當今數字世界的重要組成部分之一。由于所有的計算和處理都是在數字信號上完成的，因此在模擬世界和數字電子設備之間應該有一個媒介。傳感器彌合了這一差距，因為它們用于觀察模擬物理參數的時間效應并產生有意義的信息（對計算機）。

傳感器的現代定義有時令人困惑，但簡單來說，傳感器是一種包含基本傳感元件的設備，這些元件感測溫度或濕度等物理量并將其轉換為電信號。傳感器還由信號處理單元（如放大器、濾波器或 ADC）或這些元件的組合組成。

談到MEMS傳感器，如果傳感器是使用MEMS技術設計和制造的，那么它被稱為微加工微傳感器或簡稱為MEMS傳感器。

不同類型的MEMS傳感器

MEMS技術的主要實施者之一是汽車行業?，F代汽車使用大量傳感器，其中大多數是基于MEMS的設備。以下是現代汽車中使用的MEMS傳感器列表。

l 加速度計 – 用于電子穩定控制和安全氣囊展開。

l 慣性測量單元或IMU（它們是MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的組合） - 用于測量自動駕駛的偏航，俯仰和滾動。

l 磁力計 – 用于導航中使用的方向。

l 壓力和慣性傳感器 – 用于制動控制。

l 壓力傳感器 – 胎壓監測系統。

l 氣流傳感器 – 進氣監測。

l 燃油傳感器 – 燃油液位指示器。

l 碰撞和碰撞傳感器 – 碰撞檢測和安全氣囊展開。

l MEMS 麥克風 – 用于通信和降噪。

l 溫度傳感器 – 用于自動氣候控制和發動機溫度監控。

l 還有許多其他基于MEMS的器件適用于各種應用。

應用

MEMS傳感器已經用于各種應用，如控制和搬運設備，管理機器人、汽車、夾持器等。您可以在現代噴墨打印機、彩色投影儀、顯示系統、時鐘和掃描設備中找到這些傳感器。

MEMS技術用于制造不同的傳感器，如壓力、溫度、振動和化學傳感器。

加速度計，陀螺儀，電子羅盤等是汽車，直升機，飛機，無人機和船舶中常用的MEMS傳感器。

下面提到了基于MEMS的傳感器的一些應用領域：

l 汽車

l 化學和制藥

l 飛機

l 工業自動化和制造

l 國防、航天和航空

l 環境與健康科學

l 計算與通信

l 消費品

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